等離子清洗機Femto售價Femto 等離子系統(tǒng)可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Femto 等離子系統(tǒng)組合使用的常見選裝件的概覽。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：分析、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、紡織技術(shù)。基本單元：根據(jù)具體組件/選裝件，外殼會有所不同。腔室容積：根據(jù)具體版本，分為 1.9 - 6 升。供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位。真空腔室：圓形不銹鋼，帶蓋（約 ? 100 mm，長 278 mm 或長 600 mm）。矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103）。矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ? 103 mm x 103 mm，長 280 mm 或長 600 mm）。圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ? 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm）。圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ? 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm。裝載件：產(chǎn)品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、 鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃。電極：單層或多層、RIE。控制系統(tǒng)：半自動型、旋轉(zhuǎn)開關(guān)、PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)、PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)。真空計：Pirani、電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）。計時器：數(shù)字。發(fā)生器。頻率：40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W。100 kHz：功率 500 W。80 kHz：功率 1000 W。13.56 MHz： 功率 0 - 200 W。2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W。所有發(fā)生器均為 0 - 100.% 無級可調(diào)型。真空泵：排氣速度不小于3m3/H。其它選項：備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項。等離子清洗機Femto售價