電子無塵車間要求： 潔凈室(區(qū))設計時，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定；無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定。 潔凈室(區(qū))的溫度和相對濕度應按表3．2 3確定。 潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。 電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。

技術參數(shù)：
潔凈廠房內各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。 有下列情況之一者，凈化空調系統(tǒng)宜分開設置： 1 運行班次或使用時間不同； 2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質對其他工序、設備交叉污染，對產(chǎn)品質量或操作人員健康、安全有影響； 3 對溫、濕度控制要求差別大； 4 潔凈室(區(qū))內工藝設備發(fā)熱相差懸殊； 5 凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)； 6 系統(tǒng)風量過大的凈化空調系統(tǒng)。 潔凈室(區(qū))內的溫度、相對濕度應符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。 潔凈室(區(qū))的清掃方式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內的吸塵系統(tǒng)管道應暗敷。 氣流流型的設計，應符合下列要求： 1 氣流流型應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級為1～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流； 凈化空調系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統(tǒng)， 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。 多套凈化空調系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)的新風，應集中處理。 風機過濾器機組的設置應符合下列要求： 1 應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用； 2 應按潔凈室(區(qū))內生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置； 3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定； 4 送風量應能調節(jié)； 5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。 層流罩的設置應符合下列要求： 1 潔凈室(區(qū))內等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩； 2 層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產(chǎn)工藝或設備需要選用； 3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定； 4 安裝方式不應影響生產(chǎn)操作。 潔凈室(區(qū))的排風系統(tǒng)設計，應符合下列要求： 1 應防止室外氣流倒灌； 2 含有易燃、易爆物質的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；