派瑞林Parylene涂層在微機電、半導體、傳感器、換能器應用，有知道的嗎？

發(fā)布時間：2019-08-14

派瑞林Parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質損耗和高的介電強度，同時具有優(yōu)良的機械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續(xù)無缺陷和無其它填充物的薄膜。Parylene具有優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性和低溫性能，在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐電壓擊穿性能。因此，Parylene可用作微機電，微馬達的表面處理和絕緣體。使用高純度的Parylene作鈍化層和介質層，能提供安全、穩(wěn)定的防護。派瑞林Parylene涂層在微機電、半導體、傳感器、換能器應用如下：微電子、半導體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質層，能提供安全、穩(wěn)定的防護。傳感器和換能器：自動化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護可以提高環(huán)境適應性和可靠性，涂層無針孔，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管，適用于各種惡劣環(huán)境。 

Parylene在傳感器領域中的應用，除了作絕緣介質外，更多用作防護材料，它能耐酸、堿和有機溶劑，對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有極好的阻隔防護能力，用極薄的涂層提供良好的防護。Parylene能在0.2um厚時就完全沒有針孔，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。我知道就這么多，希望對你有所幫助！

派瑞林Parylene涂層對微電子機械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護性，在微細結構中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機械性能；與其它微細結構材料有很好的相容性；能進行微米級微細制作和加工；所以在微機電、半導體、傳感器、換能器有著廣泛的應用。

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