大型等離子簡介：適用于PCB生產(chǎn)行業(yè)，此外應(yīng)用于處理大型及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的工件。

真空系統(tǒng)泵采用無油前級泵加羅茨泵泵組結(jié)構(gòu)，即保證抽速，又保證腔體潔凈度，同時(shí)無油泵例如爪式干泵易維護(hù)、噪聲小、抽速快，相對于部分耐腐蝕的油泵來說，其維護(hù)以及運(yùn)作成本大大降低，同時(shí)該泵是適合于強(qiáng)氧化氣體及含氟離子的特殊環(huán)境下工作的，大大提高泵體的壽命，羅茨泵的使用，是為在真空度低于1000帕?xí)r提高抽速，使之更快達(dá)到工作壓強(qiáng)，既分擔(dān)了單一泵體的工作壓力，又提高了效率。

自動控制系統(tǒng)，采用PLC進(jìn)行全程控制，性能穩(wěn)定，功能齊全， 人機(jī)界面友好，采用12.1或10.4英寸觸摸屏；或采用PC加顯示器進(jìn)行控制，可設(shè)定工藝過程參數(shù)，可對大量實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)進(jìn)行采集記錄、打印，還具備事件報(bào)警，配方儲存，數(shù)據(jù)報(bào)表等強(qiáng)大功能，可用PID模式自動控制真空度、極板溫度等。

供氣系統(tǒng)，采用5路氣體質(zhì)量流量計(jì)，分別用來控制不同的氣體，通過一定的技術(shù)處理，使用戶在計(jì)算機(jī)操作平臺上可以方便的置入工藝生產(chǎn)中所需的氣量。另外我們的供氣管道采用了進(jìn)口的高精度拋光不銹鋼管，內(nèi)壁光滑、氣阻小，氣體的流量更加穩(wěn)定可靠。

電極系統(tǒng)，該設(shè)計(jì)對等離子激發(fā)